第0318章 一口吃不成胖子[2/2页]

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    “如果能将准分子激光和浸入式工艺相结合，波长将会缩短到134纳米，最高可实现6纳米制程节点。”

    牧乔所说的浸入工艺，就是将镜头和硅片之间的空间浸泡于纯净水之中，由于纯净水的折射率为1.44，所以arf加浸入技术就能得到134纳米的波长。

    这是后世已经实现的技术，但李坚强和徐端逸二人却认为这只是牧乔想象之中的最好结果。

    不过，只是想一想，都让他们格外兴奋。

    但兴奋过后，接踵而来的就是沮丧。

    “我们连准分子激光器都造不出来……”

    这一点，牧乔当然也是考虑过的。

    “造不出就买，买过来拆开来研究，我就不相信有实物，咱们都仿造不出来！”

    李坚强叹了口气：“关键是人家不卖给我们。”

    “买不到光刻机，可以买钻石加工机和医疗器械，到时将它们上面的准分子激将器拆下来不就行了？”

    “好主意！”两人的眼睛顿时一亮，随即，李坚强就握住了牧乔的手。

    “小牧同志，这件事情就拜托你了！”

    “放心！我在香江开了一家进出口贸易公司，到时让他们出面去购买。”

    “只要出得起价钱，钻石加工机也好，医疗器械也好，统统都不是问题。”

    “那就好！那就好！”

    李坚强满怀憧憬地说道：“只要能买到激光器，我们就一定能够仿造出来。”

    “这一次，是我们超越国外先进技术的最佳时机，万万不能再耽误了！”

    徐端逸叹道：“是啊，错过了这一次，还不知道要多少时间才能追赶得上来。”

    李坚强激动地道：

    “回头我就和齐校长一起去教委，争取最快的时间把合作计划批下来，小牧同志，你那边也要抓紧点了！”

    “我马上就安排！”

    说好准分子光源的事，牧乔又将话题转回到光刻机以后的研究方向上来。

    “目前国际光刻机常用的光源，大致可以分为两类，一是紫外光，二是深紫外光（准分子激光产生的也是深紫外光）。”

    “但还有一种极紫外光，它能将波长缩短到1015纳米！”

    徐端逸一听就摇头道：“极紫外光我知道，但要拿它来做光刻机光源，我觉得根本无法实现。”

    “不说如何产生适用的光线，就是它的稳定性和转换效率等等，都是无法解决的难题！”

    “所以我将它定为一个长期投入、长期研究的目标。”牧乔郑重地说道。

    极紫外光刻机被称为人类工业文明皇冠上的明珠。

    上一世，光刻机巨头asml公司花了10多年时间，投入大量的人力物力，才在2010年推出第一台euv光刻机，并从此垄断了全球高端光刻机市场。

    这一世，有机会取而代之，哪怕困难再大，牧乔也不打算放弃。

    “光靠我们水木，恐怕担不起这个担子！”

    牧乔用力地挥了挥手，“一口吃不出一个胖子，咱们一步一步来！”

    “我们现在的目标，就是造出193纳米的准分子激光器。”

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