第102章 重开魔窟训练营[2/2页]

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    动！

    核聚变项目是国家顶级重要的大事，现在既然有办法能够加快进度，各方那就务必有钱出钱、有力出力！

    中海光电所那边，现在是群英荟萃！

    早在中海物理所搬家之前，中海光电所就搬进了中海光科科技位于中海市西南边的产业园，那里厂房和办公楼、实验室面积够大，还有现成的机加工生产设备和熟练的技师队伍。

    经过近一个月来的密集研发，高精度机床，现在已经生产出来好几台了，目前正在昼夜不停的试制光刻机的各个零部件。

    中海光科科技现在汇集了全国顶尖的高端数控机床、精密机械、微电子、元器件、传感器、激光器、光敏和光感材料、控制器、慢速电机、步进电机、光源器件、镜头组件以及工控软件等各行业的全国头部企业和知名独立研究机构等，原本空旷宽敞的产业园里，已经是被塞的满满当当的啦！

    龙国就是这一点好，碰上大事了，人心都很齐整！

    这么多的行业精英齐集一堂，各自领回自己的任务，找地就开始没白没黑的搞起来！因为基础的理论和技术路线都已经是很齐全了，需要他们做的就是把技术变成实物，而且要精益求精！

    没错，对他们最大的挑战，就是一个“精”字！

    1纳米光刻机，对精度的要求，达到了变态的地步！

    就拿镜头来举例说明吧！

    光刻机的镜头，指的不仅是一块透镜，而是由数十块独立的透镜及反射镜也就是物镜，组合而成的复杂到极致的光学系统！

    而孔白研发的1纳米光刻机，还不能使用透镜，必须使用物镜！

    主要是因为极紫外光的波长只有13.5纳米，穿透能力极弱，用透镜调整光路，会造成大量能量损失，甚至有可能根本无法完成照射。

    因此，使用极紫外光完成照射芯片掩膜的1纳米光刻机，其物镜光路都是反射式的。

    为了保证照射晶圆图案的精度，光刻机中每一块镜片安装位置的误差，都必须小于1nm，够变态了吧？

    不！真正变态的在后面呢！

    1纳米光刻机，是利用布拉格衍射原理，实现极紫外光的反射的，对反射物镜的要求精度为皮米级别的。

    因此，根据孔白技术资料的要求：

    1纳米光刻机中的反射镜，由高精度的玻璃基底和沉积在其上的纳米厚度的周期性硅、钼多层膜构成。

    在这一系列的反射镜中，直径最大的为1.2米，精度要求面形峰谷值不超过0.12纳米，表面粗糙度不超过20皮米，就是0.02纳米！

    什么意思呢？就是达到了原子级别的平坦！

    且不论原子间的致密程度，仅从平坦度上来讲，已经跟那个水滴，差不多了！

    怎么才能加工到这种平坦度呢？

    普通加工工艺肯定是门都没有！

    简单的说，按照孔白的技术资料提示：

    镜片经由高精度机床铣磨成型后，经过小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光手段，才能达到所需的精度，然后再进行镀膜，镀周期性硅、钼多层膜。

    孔白害怕他们不明白，就额外的给他们指明了技术实现路径：

    利用数控光学表面成形技术来加工镜胚，即：用计算机自动化控制，来代替了人的经验控制。

    比方说：小磨头抛光技术是使用一个比镜胚口径小得多的磨头，对镜胚进行抛光，通过控制磨头在镜胚表面不同位置的驻留时间，以及磨头与镜胚之间的压强，来控制磨除量，只有这样，才能够实现数十纳米级别的加工精度。

    孔白还提出了，在条件具备的情况下，建议使用更先进的应力盘抛光技术，可以极大地提高镜胚的精度。

    即：使抛光盘在计算机控制下，根据镜胚加工的形状实时变形，实现抛光盘与工件的完全贴合。

    你看，孔白都把技术资料提供到这种程度了，貌似照着干就是了！

    然后，那些看过这些资料的人，没差点当场晕厥过去……

    所以说，很多事情，并非像丁部长和李院士想象的那么简单的！说什么拿到光刻机的技术资料，一拍脑门就能造出光刻机的事情，一般的无脑小说可以这样写，但是你要是真这样要求他们的话，就真的很无脑了……

第102章 重开魔窟训练营[2/2页]

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